प्रवास श्रेणी
20 मिमी
ठराव
0.125μm
पुनरावृत्तीक्षमता
＜1μm
सरळपणा
＜2μm
समांतरता
＜5μm
पिचिंग
१०″(50μrad)
जांभई
कमाल वेग
5 मिमी/से
भार क्षमता
10 किलो
वजन
1.5 किग्रॅ
