मिनी स्टेज:WN262TA20H

प्रवास श्रेणी

20 मिमी

ठराव

0.125μm

पुनरावृत्तीक्षमता

＜1μm

सरळपणा

＜2μm

समांतरता

＜5μm

पिचिंग

१०″(50μrad)

जांभई

१०″(50μrad)

कमाल वेग

5 मिमी/से

भार क्षमता

10 किलो

वजन

1.5 किग्रॅ